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德國海德堡高精密無光罩雷射直寫設備

HEIDELBERG INSTRUMENTS MASKLESS LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德國海德堡儀器 (Heidelberg Instruments) 成立於 1984 年，擁有卓越的技術和可靠的產品，受到全球 50 多個國家客戶的信任，並且成功安裝超過 1500 台系統。
產品範圍從桌上型解決方案到高階光罩製造系統，致力於設計、開發和生產高精度的雷射直寫技術、無光罩對準器和奈米製造系統，穩居全球領導者地位，為全球半導體產業提供頂尖品質的服務。
我們的系統能夠在微奈米層級上實現多種表面結構，包括 2D 圖案化、透過灰階微影創建 2.5D 特徵結構。
基於其高度靈活性，這些解決方案已成為全球知名大學、研發機構及工業生產設備中的重要資產。
應用領域包括微光學與光子學、電子學、先進封裝、量子器件、MEMS、微流體、2D 材料及光罩生產等技術前沿領域，是企業與研究發展的最佳解決方案。